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Damit das Vakuum hochrein ist

Die Ventile der Haager VAT Group sind nur ein winziger Teil von High-Tech-Anlagen, aber technologisch hochkomplex und entscheidend für das Gelingen der Prozesse. Das Unternehmen hält daher die Forschung und Entwicklung bei Innovationen hoch.
Thomas Griesser Kym
Absperrventil der VAT für Hochvakuum-Anwendungen. (Bild: pd)

Absperrventil der VAT für Hochvakuum-Anwendungen. (Bild: pd)

Eine Anlage für die Halbleiterindustrie zur Beschichtung von Siliziumscheiben (Wafer), aus denen anschliessend die Speicherchips geschnitten werden, kostet 5 Mio. bis 7 Mio. Franken. Der Anteil der VAT Group daran beträgt lediglich 2% bis 3%, sie produziert und liefert aber «das kritischste Produkt», wie VAT-Chef Heinz Kundert sagt. Konkret sind das hochwertige Vakuumventile. Diese Ventile, pro Anlage 40 Stück, sitzen nahe an den Kammern, in denen die Wafer beschichtet werden, und damit «nahe am Prozess». Laut Kundert sind 700 bis 800 Prozessschritte erforderlich. Auf den Chips werden 10 Nanometer feine Linien aufgetragen. Damit sind sie mehr als 8000mal dünner als ein menschliches Haar. Damit die Chips einwandfrei funktionieren, müssen sie frei sein von Partikeln, Fett, Gasen usw. Darum laufen fast alle Prozessschritte der Beschichtung im Vakuum ab, und damit dieses hochrein ist, braucht es hochwertige Ventile wie jene der VAT, zum Schliessen und Öffnen der Kammern, für die Pumpen usw.

Illustre Kundenliste

Auch zur Herstellung von Displays (Bildschirme), Solarpanels, Lithium-Ionen-Batterien, in Insulinpumpen, in Einspritzpumpen von Verbrennungsmotoren oder in der wissenschaftlichen Forschung, etwa am Cern, stehen Vakuumventile im Einsatz. Die VAT liefert diese an die Hersteller von Anlagen, im Fall der Halbleiterindustrie zum Beispiel an Applied Materials. Deren Kunden wiederum sind Elektronikkonzerne wie Samsung, LG oder Intel. Auch mit diesen unterhält die VAT enge Beziehungen, um gemeinsam Lösungen für neue Anwendungen zu finden und zu entwickeln.

Unangefochtene Nummer eins

«Es gibt praktisch keine Anwendung, für die wir keine Lösung haben», sagt Kundert. Im Angebot hat die VAT 8000 kundenspezifische Ventile, aber nur 2500 Standardprodukte. Mit einem Weltmarktanteil von 41% bei hochwertigen Vakuumventilen ist man achtmal grösser als der erste Rivale. Dessen Umsatz ist nur wenig grösser als die 30 Mio. Fr., welche die VAT vergangenes Jahr in Forschung und Entwicklung gesteckt hat. Laut Kundert arbeiten 20% der weltweiten Belegschaft «in der Innovation», wozu er auch die Suche mit Kunden nach Lösungen zählt.

Zurück zu den Speicherchips. Deren Herstellung dürfte laut Kundert, zwecks Steigerung der Leistungsfähigkeit der Chips, in ein paar Jahren 1400 bis 1500 Prozessschritte erfordern. Dazu brauche es mehr Anlagen – und folglich mehr Ventile der VAT.

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